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产品名称：XPS-7半导体特气检漏仪
产品型号：XPS-7
产品品牌：
日本新宇宙|NEW COSMOS
简单介绍
XPS-7半导体特气检漏仪检测对象:砷烷,磷烷,乙硼烷,硅烷,氢气；XPS-7半导体特气检漏仪是由日本新宇宙生产的。 |
| XPS-7半导体特气检漏仪特 点：
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| ¬ 只要更换传感器单元就可以检测对象气体
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| ¬ 用盒式传感器单元无需进行检测器校正
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| ¬ 大幅度削减成本和维护时间
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| XPS-7半导体特气检漏仪规 格：
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| 型 号
| XPS-7
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| 检测原理
| 定电位电解式
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| 检测气体对象
| 半导体材料气体
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| 指示范围
| 根据规格
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| 分 辨 率
| 实现满量程的百分之一
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| 指示精度
| FS±10%以内
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| 报警模式
| 2段报警方式
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| 报警方式
| 蜂鸣器(间歇音)、报警灯闪烁
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| 应答时间
| 60秒以内(60%应答)
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| 电 源
| 5号碱性干电池4节或AC专用变压器
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| 电池使用时间
| 连续12小时以上
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| 外型尺寸
| W762×H150×D128(除去突起物)
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| 检测方式
| 泵吸式
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| 使用温度范围
| 0℃～40℃
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| 重 量
| 约1.3kg
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| 附 件
| 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸两张
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| 选 购 件
| AC专用变压器、传感器专用通电台、数据收集配套元件
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| XPS-7检测气体一览表：
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| 型号
| 气体
| F.S
| 型号
| 气体
| F.S
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| XPS-7NH
| NH3
| 100ppm
| XPS-7GH
| GeH4
| 1ppm
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| XPS-7SH
| SiH4
| 25ppm
| XPS-7CL
| CL2
| 5ppm
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| XPS-7DC
| SiH2CL2
| 25ppm
| XPS-7CF
| CLF3
| 1ppm
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| XPS-7AS
| AsH3
| 250ppm
| XPS-7HC
| HCL
| 25ppm
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| XPS-7PH
| PH3
| 1ppm
| XPS-7HF
| HF
| 10ppm
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| XPS-7BH
| B2H6
| 500ppm
| XPS-7HB
| HBr
| 10ppm
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| XPS-7SE
| H2Se
| 250ppm
| XPS-7NO
| NO
| 100ppm
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| XPS-7HS
| H2S
| 50ppm
| XPS-7F2
| F2
| 5ppm
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| XPS-7CO
| CO
| 250ppm
| XPS-7OZ
| O3
| 1ppm
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| XPS-7DS
| Si2H6
| 25ppm
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